简要描述:TargetSystem用于可见目标和隐藏目标的自动目标制备TargetSystem特性显著缩减制备时间不受操作人员技能影响的再现性无需成本昂贵的磨料薄膜TargetSystem设计用于微电子组件和扁平化目标制备
TargetSystem 特性
TargetSystem 设计用于微电子组件和扁平化目标制备。这是款失效分析工具,可对可见目标和隐藏目标进行实时对齐和测量,例如微型穿孔和 BGA。系统精度高达 +/- 5 µm。
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